Реферат декл пат на кор модель №8622



Дата конвертації01.12.2016
Розмір11.2 Kb.
ТипРеферат
Реферат декл пат на кор модель №8622

Автори: співробітники кафедри „Мікроелектроніки та напівпровідникових приладів”, доцент канд.фіз.-мат. наук Матюшин В.М.;

аспірант магістр електроніки Жавжаров Є.Л.; аспірант магістр електроніки Полєха Д.О.

МПК7 C23C14/58, C23C14/18


СПОСІБ ПОЛІПШЕННЯ АДГЕЗІЇ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК ДО НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ТА ДІЕЛЕКТРИЧНИХ ПІДШАРКІВ
Винахід, що заявляється, відноситься до галузі напівпровідникової електроніки, зокрема до виготовлення напівпровідникових приладів.

В основу винаходу поставлено завдання пошуку альтернативного способу поліпшення адгезії металевих плівок до монокристалічних напівпровідників та діелектриків, який би відрізнявся від інших низьким впливом на первісні параметри гетероструктури, простою і контрольованою технологією та дешевизною.



Поставлене завдання досягається тим, що в способі поліпшення адгезії металевих плівок на напівпровідникових та діелектричних підшарках, що заявляється, після нанесення металевої плівки на підшарок і подальшого оброблення пластин з плівкою виконують одностадійно в атмосфері електричне нейтрального атомарного водню в вакумній установці при температурах підшарку 20-70 0С.
Каталог: base -> nis -> referat
referat -> Реферат до деклараційного патенту на корисну модель №4464
referat -> Реферат до деклараційного патенту України на винахід №69719А
referat -> Реферат до деклараційного патенту України на винахід №68972А
referat -> Реферат до деклараційного патента України на винахід №71840А
referat -> Реферат до деклараційного патенту на корисну модель №
referat -> Реферат до деклараційного патента України на винахід №55003А
referat -> Реферат до деклараційного патенту україни на винахід №4291


Поділіться з Вашими друзьями:




База даних захищена авторським правом ©uchika.in.ua 2020
звернутися до адміністрації

    Головна сторінка